〜高純度〜
石英ガラスは非常に高い純度をもっています。
高集積化が進み、ごく微量の不純物も許されない半導体プロセスに
おいても純度の高い石英ガラスが用いられています。
〜光透過性〜
紫外から赤外の全波長にわたり、高い光透過性をもっています。特に短波長の紫外領域においては、どのようなガラスよりも良好な透過性を示します。
〜耐熱性〜
優れた耐熱性と低熱膨張係数による耐熱衝撃性を併せもっています。熱伝導率、比熱が極めて小さいことも特長のひとつです。
半導体製造時の熱処理プロセスといった高温を使用する際も、石英ガラスが炉芯管やボードといった耐熱形状安定性の高い部材としても広く用いられます。
〜耐薬品性〜
化学的に極めて安定で、優れた耐薬品性をもっています。
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